اینتل در حال ارزیابی تجهیزات حکاکی مرطوب (wet etch) از شرکت ACM Research است، یک سازنده ابزار ساخت تراشه مستقر در ایالات متحده که عمدتاً بر چین متمرکز است و عملیات گسترده‌ای در جمهوری خلق دارد. رویترز ادعا می‌کند که این تجهیزات برای استفاده احتمالی در فناوری فرآیند حیاتی اینتل مورد بررسی قرار می‌گیرند. در حالی که اینتل انواع ابزارها را از سازندگان متعدد تجهیزات آزمایش می‌کند، این ماشین‌های حکاکی خاص نگرانی‌های سیاسی و امنیت ملی را افزایش می‌دهند. علاوه بر این، Walden International، یک شرکت سرمایه‌گذاری خطرپذیر که توسط لیپ بو تان، مدیرعامل اینتل، تأسیس و ریاست می‌شود، در سال 2019 در ACM سرمایه‌گذاری کرده بود.

بر اساس منابعی که رویترز به آنها استناد کرده است، اینتل دو ابزار حکاکی مرطوب از ACM Research را برای استفاده در فرآیند تولید بسیار مهم 14A خود ارزیابی کرده است. این فرآیند برای عرضه اولیه در سال 2027 برنامه‌ریزی شده و تلاش حیاتی این شرکت در زمینه ریخته‌گری (foundry) محسوب می‌شود. اوایل امسال، اینتل اعلام کرد که اگر حداقل یک مشتری خارجی بزرگ برای 14A به دست نیاورد، ممکن است عرضه این گره تولیدی را به تأخیر بیندازد یا حتی آن را کنار بگذارد. هیچ تأییدی مبنی بر تأیید ابزارهای ارزیابی‌شده برای استفاده در تولید وجود ندارد. با این حال، تمایل اینتل به آزمایش تجهیزات از یک تأمین‌کننده با واحدهای تحریم‌شده، قطعاً نگرانی‌های سیاسی و امنیت ملی زیادی را ایجاد می‌کند. ACM Research اخیراً تأیید کرد که ابزارهایی را به مشتریان آمریکایی ارسال کرده است.

دکتر دیوید وانگ، رئیس و مدیرعامل ACM، گفت: “در عین حال، ما در تلاش‌های توسعه جهانی خود گام‌های مهمی برمی‌داریم و چندین تحویل ابزار به ایالات متحده در طول سه ماهه سوم برنامه‌ریزی شده است.”

سیستم‌های حکاکی، مواد انتخابی را از یک ویفر حذف می‌کنند تا الگوهای تعریف شده توسط لیتوگرافی را منتقل کنند یا سطوح را تمیز و آماده سازند. این کار با استفاده از واکنش‌های شیمیایی در مایعات (حکاکی مرطوب) یا پلاسمای واکنش‌پذیر در خلاء (حکاکی خشک) انجام می‌شود.

حکاکی مرطوب به مواد شیمیایی مایع مانند HF برای حذف اکسید یا H₃PO₄ برای حل کردن مواد با گزینش‌پذیری بسیار بالا و بدون آسیب ناشی از پلاسما متکی است. این روش برای حذف اکسید، لایه‌های قربانی و تمیز کردن پس از حکاکی ایده‌آل است، اما معمولاً ایزوتروپیک است و به طور یکنواخت به مواد در معرض دید از همه جهات حمله می‌کند، بنابراین می‌تواند ویژگی‌ها را فراتر از اندازه‌های مورد نظرشان گسترش دهد یا خطوط باریک را به طور کامل حکاکی کند.

حکاکی خشک از گازهای یونیزه شده و توان RF برای دستیابی به حکاکی ناهمسانگرد (anisotropic) و جهت‌دار با کنترل دقیق ابعاد بحرانی و نسبت‌های ابعادی بالا استفاده می‌کند، اما به قیمت گزینش‌پذیری کمتر، پیچیدگی بیشتر ابزار و آسیب احتمالی یون و شارژ. بنابراین، کارخانه‌های تولید مدرن از هر دو نوع حکاکی استفاده می‌کنند: حکاکی خشک برای انتقال دقیق الگو و حکاکی مرطوب برای حذف انتخابی، تمیز کردن و آماده‌سازی سطح. در حالی که ACM Research ابزارهای حکاکی خشک و مرطوب در سطح جهانی تولید می‌کند، شرکت‌های برجسته دیگری مانند Applied Materials، KLA، Lam Research و Tokyo Electron نیز این کار را انجام می‌دهند. آزمایش ابزارها از همه تأمین‌کنندگان برای همه سازندگان تراشه طبیعی است، اما در مورد اینتل و ACM Research، سوالاتی مطرح خواهد شد.

یک نکته جالب در مورد ACM Research این است که Walden International، یک شرکت سرمایه‌گذاری خطرپذیر که توسط لیپ-بو تان (مدیرعامل فعلی اینتل) تأسیس و ریاست می‌شود، قبلاً در ACM Research سرمایه‌گذاری کرده بود. این سرمایه‌گذاری از طریق Walden CEL Global Fund I، یک صندوق سهام خصوصی که با حمایت مشترک Walden International و China Everbright Limited در سال 2017 تأسیس شد، انجام گرفت. اظهارنامه‌ها تا مارس 2025 نشان می‌دهند که Walden همچنان در ACM سرمایه‌گذاری داشته است، اما وضعیت فعلی آن نامشخص است. صرف نظر از این، به نظر نمی‌رسد که سهم عمده‌ای در این شرکت داشته باشد.

اگر لیپ-بو تان همچنان سهمی داشته باشد، می‌تواند از خرید ابزار توسط اینتل از ACM Research سود ببرد، عمدتاً از طریق سهم مالی غیرمستقیم خود در این شرکت از طریق Walden International و Walden CEL Global Fund I. با این حال، این سود غیرمستقیم و تضمین‌شده نیست، زیرا آزمایش‌های اینتل ممکن است منجر به خریدهای با حجم بالا نشود. علاوه بر این، با توجه به اینکه برخی از واحدهای ACM Research قبلاً توسط دولت ایالات متحده به دلیل ارتباط با CXMT، SMIC و YMTC در لیست سیاه قرار گرفته‌اند، درآمد آتی ACM با برخی مشتریان مستقر در چین تضمین‌شده نیست.

از آنجایی که ACM Research در سال 2023 تأسیسات خود را در نزدیکی هیلزبورو، اورگان، ‘به صورت استراتژیک در نزدیکی مشتریان و شرکای کلیدی’ قرار داد، واضح است که این شرکت مدتی است که اینتل را جذب کرده است. همچنین، گزارش‌ها حاکی از آن است که ACM اولین ابزارهای خود را در اواخر سال 2023 و در سال 2024 به مرکز تحقیق و توسعه D1D/D1X اینتل تحویل داده است، به این معنی که اینتل مدت‌ها قبل از اینکه لیپ-بو تان مدیرعامل آن شود، تصمیم به همکاری با ACM گرفته بود. با این وجود، در سال‌های 2023-2024، او یکی از مدیران اینتل بود.