شرکت Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology در حال گسترش قابل توجهی در سایت اوبرکوخن آلمان است و ۲۵,۰۰۰ متر مربع فضای تولیدی جدید اضافه می‌کند. این اقدام حیاتی است زیرا اوبرکوخن و وتزلار تنها مکان‌هایی در جهان هستند که ستون‌های نوری اسکنرهای لیتوگرافی ASML تولید می‌شوند. گزارش ASML نشان می‌دهد که ظرفیت تولید این شرکت مستقیماً به توانایی زایس در تامین قطعات نوری وابسته است. ASML قصد دارد تولید اسکنرهای EUV با NA پایین را تا سال ۲۰۲۷ حدود ۳۰ درصد افزایش دهد.

ASML، Carl Zeiss SMT را تنها تامین‌کننده لنزها و اجزای نوری حیاتی خود معرفی کرده و هشدار داده که بدون زایس، فعالیتش متوقف خواهد شد. خریدهای ASML از زایس در سال ۲۰۲۵ به ۴.۴۱ میلیارد یورو رسید. ASML همچنین چرخه ساخت اسکنرها را کاهش داده و برای افزایش قیمت دستگاه‌های EUV برنامه‌ریزی می‌کند. این گسترش زایس برای تامین نیازهای رو به رشد صنعت نیمه‌هادی و تولید تراشه‌های پیشرفته ضروری است.