استارتاپ آمریکایی xLight، با حمایت پت گلسینگر، ۱۵۰ میلیون دلار مشوق فدرال تحت قانون CHIPS و علم دریافت کرده است. این شرکت در حال توسعه یک منبع نور مبتنی بر لیزر الکترون آزاد (FEL) برای لیتوگرافی EUV است که جایگزین منابع پلاسمای تولید شده با لیزر (LPP) سنتی می‌شود. این فناوری جدید با هدف بهبود چشمگیر کارایی تولید تراشه و تسریع قانون مور، اولین سیستم خود را در آلبانی خواهد ساخت.

این نوآوری پتانسیل ایجاد برتری حیاتی برای ایالات متحده در زنجیره تامین جهانی نیمه‌رساناها را دارد، زیرا سیستم FEL xLight روشنایی بیشتر و الگوبرداری دقیق‌تری را نوید می‌دهد. با این حال، اثبات قابلیت تولید انبوه آن چالش‌برانگیز است. همچنین، استفاده از شبکه آزمایشگاهی وزارت انرژی ممکن است به طبقه‌بندی برخی عناصر منجر شود که ضمن تقویت کنترل داخلی، صادرات را محدود کند.