IMEC با موفقیت نشان داده است که می‌توان نانوحفره‌ها را در مقیاس کامل ویفر با استفاده از دستگاه‌های پیشرفته لیتوگرافی EUV ASML به تولید انبوه رساند. این نانوحفره‌ها، سوراخ‌های بسیار ریزی با قطر چند نانومتر هستند که کاربرد شگفت‌انگیزی در حسگرهای زیست‌پزشکی دارند. آن‌ها قادرند با اندازه‌گیری تغییرات جریان یونی، مولکول‌های منفردی مانند ویروس‌ها، پروتئین‌ها و DNA را با دقت بالا تشخیص دهند. این پیشرفت، روش‌های کند و گران‌قیمت فعلی تولید نانوحفره‌ها را متحول کرده و امکان تولید انبوه، دقیق و قابل تکرار را بر روی ویفرهای 300 میلی‌متری فراهم می‌آورد.
این کشف، با وجود تقاضای بالای صنعت نیمه‌هادی برای تجهیزات EUV ASML، نویدبخش تولید مقرون‌به‌صرفه نانوحفره‌ها برای کاربردهای زیست‌پزشکی است. فناوری مذکور می‌تواند در تشخیص مولکولی، فیلتراسیون و ذخیره‌سازی داده‌های مولکولی انقلابی ایجاد کند و دسترسی به حسگرهای مبتنی بر نانوحفره را برای سازندگان تجهیزات پزشکی آسان‌تر سازد. این گامی مهم به سوی تولید انبوه و اقتصادی است.