تعدادی از شرکت‌های چینی نوآوری‌های مرتبط با نیمه‌هادی خود را در نمایشگاه اکوسیستم نیمه‌هادی WeSemiBay در حال برگزاری در شنژن چین معرفی کردند. طبق گزارش SCMP، شرکت Amies Technologies، یک شرکت جدا شده از Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE)، مجموعه ابزارهای جدید خود، از جمله یک ابزار لیتوگرافی برای نیمه‌هادی‌های ترکیبی را معرفی کرد. زیرمجموعه‌های مختلف SiCarrier، شرکتی که توسط هواوی و دولت چین حمایت می‌شود، ابزارهای پیشرفته EDA و فوتورزیست‌هایی را معرفی کردند که حتی می‌توانند برای لیتوگرافی EUV استفاده شوند، این را Digitimes گزارش داده است.

در این رویداد، Amies، زیرمجموعه SMEE که در مجموعه گسترده‌تری از تجهیزات فراتر از لیتوگرافی تخصص دارد، ابزارهای لیتوگرافی خود را برای تولید نیمه‌هادی‌های ترکیبی مانند گالیم آرسنید (GaAs)، گالیم نیترید (GaN) یا ایندیم فسفید (InP)؛ سیستم‌های بازپخت لیزری؛ ابزارهای بازرسی پیشرفته و راه‌حل‌هایی برای بسته‌بندی و اتصال ویفر به نمایش گذاشت، این را South China Morning Post گزارش داده است. Amies در اوایل سال 2025 تشکیل شد، اما تاکنون بیش از 500 استپر لیتوگرافی را ارسال کرده است.

بازوی طراحی SiCarrier، شرکت Qiyunfang Technology، دو پلتفرم نرم‌افزاری EDA بومی را معرفی کرد که بر اساس مالکیت فکری داخلی ساخته شده‌اند. به گفته سازنده، این ابزارها کارایی طراحی را 30% افزایش داده و چرخه‌های توسعه سخت‌افزار را 40% کوتاه می‌کنند، در مقایسه با ابزارهای توسعه‌دهندگان پیشرو مانند Cadence، Synopsys و Siemens EDA که می‌توانند به چین ارسال شوند. ظاهراً بیش از 20,000 مهندس در حال حاضر از این نرم‌افزار برای توسعه تراشه‌ها استفاده می‌کنند، اگرچه خودکفایی EDA چین به سختی بالاتر از 10% است.

اگرچه به دلیل ممنوعیت ایالات متحده، هیچ ابزار لیتوگرافی ASML EUV در چین وجود ندارد و انتظار می‌رود شرکت‌های داخلی به زودی چنین سیستم‌هایی را تولید نکنند، اما زیرمجموعه مواد SiCarrier، شرکت Skyverse Technology، یک فوتورزیست را معرفی کرده است که می‌تواند برای تولید EUV استفاده شود. این شرکت چندین پتنت را ثبت کرده است که شیمی‌های خوشه‌ای فلزی اکسید قلع و وضوح‌های الگودهی از 3 نانومتر تا 50 نانومتر را توصیف می‌کنند. در حالی که این پرونده‌ها به جای EUV به نام، به نوردهی پرتو الکترونی و DUV اشاره دارند، ویژگی‌های فنی آنها مشابه با مواردی است که توسط JSR، تامین‌کننده پیشرو فوتورزیست‌ها برای تولید با استفاده از ابزارهای EUV، تولید می‌شوند.

جالب اینجاست که بیشتر مخترعان ذکر شده در درخواست‌های Skyverse ‘نامعلوم’ هستند، که نشان‌دهنده مشارکت‌های تحقیقاتی محرمانه و همکاری‌های احتمالی با حمایت دولتی است.

یکی دیگر از زیرمجموعه‌های SiCarrier، شرکت Long Sight، یک اسیلوسکوپ بلادرنگ 90 گیگاهرتزی را معرفی کرد که پنج برابر بهبود نسبت به مدل‌های قبلی چینی نشان می‌دهد. این سیستم امکان تحلیل دقیق یکپارچگی سیگنال را برای فناوری‌های فرآیند کلاس 3 نانومتر و 5 نانومتر فراهم می‌کند، که برای SMIC و کارخانه‌های احتمالی هواوی که در سال‌های آینده تراشه‌هایی با این گره‌ها تولید خواهند کرد، مفید خواهد بود.