شرکت ASML، تامین‌کننده انحصاری ابزارهای لیتوگرافی EUV، قصد دارد قیمت سیستم‌های Low-NA EUV خود را افزایش دهد. این تصمیم با هدف کسب ارزش کامل فناوری‌های پیشرفته‌اش، فراتر از صرف بهره‌وری ویفر، اتخاذ شده است. اگرچه به دلیل سفارشات قبلی تا اواخر سال ۲۰۲۸ تأثیر مستقیم بر قیمت‌ها ندارد، این اقدام خشم TSMC، بزرگترین مشتری ASML را برانگیخته است.

برای TSMC، این مسئله استراتژیک است؛ زیرا نقشه راه آن تا سال ۲۰۳۰ به شدت به EUV با Low-NA متکی است. افزایش قیمت‌ها می‌تواند میلیاردها دلار به هزینه‌های سرمایه‌ای TSMC بیفزاید، مزیت اقتصادی به تعویق انداختن High-NA EUV را کاهش داده و هزینه‌های تولید تراشه را بالا ببرد. این وضعیت ممکن است TSMC را مجبور کند تا زودتر از موعد مقرر به فناوری High-NA EUV روی آورد، در حالی که ممکن است هنوز آمادگی کامل برای این انتقال پرهزینه را نداشته باشد.