اینتل این هفته توسعه پردیس Bowers خود در سانتا کلارا، کالیفرنیا را با هدف تولید ماسک‌های نوری (رتیکل) بیشتر در ایالات متحده آغاز کرد. این شرکت قصد دارد یک مرکز تولیدی جدید و یک ساختمان تاسیساتی جدید در این سایت بسازد که موقعیت این مکان را به عنوان یک تولیدکننده کلیدی ماسک‌های نوری برای اینتل تقویت خواهد کرد.

اوایل سال جاری، اینتل مجوز ساخت یک مرکز تولیدی جدید به مساحت ۱۰۷,۰۰۰ فوت مربع (۹,۹۴۰ متر مربع) با اتاق تمیز کلاس ۱ در پردیس Bowers خود را دریافت کرد و این هفته رسماً ساخت و ساز این توسعه را آغاز کرد. این مراسم با حضور مدیران ارشد اینتل و لیزا گیلمور، شهردار سانتا کلارا، برگزار شد. تاسیسات جدید قادر خواهد بود ماسک‌های نوری ۶ اینچ در ۶ اینچ را هم برای لایه‌های DUV و هم EUV و برای گره‌های مختلف (از ۳۲ نانومتر تا کلاس ۱.۴ نانومتر) تولید کند، اگرچه تمرکز اصلی این تاسیسات بر تولید رتیکل‌ها برای فناوری‌های فرآیند پیشرو — مانند ۱۸A اینتل، ۱۸A-P، ۱۴A و پیشرفته‌تر — است که به ابزارهای پیشرفته DUV، EUV و در نهایت High-NA EUV متکی هستند و به ماسک‌های نوری پیشرفته‌تری نیاز دارند، مانند آنهایی که دارای الگوهای بسیار متراکم هستند و از تصحیح مجاورت نوری منحنی (OPC) با شکل هندسی خمیده استفاده می‌کنند.

اینتل یکی از معدود تولیدکنندگان پیشرو تراشه در جهان است که هنوز یک کارگاه ساخت ماسک در سطح جهانی را حفظ کرده است — که این امر مهم است، زیرا هر محصول پیشرفته به صدها ماسک نیاز دارد و هر بازنگری ماسک مستقیماً بر برنامه‌های تولید تأثیر می‌گذارد. علاوه بر این، تولید ماسک‌ها در داخل شرکت به ویژه برای رتیکل‌های لایه‌های EUV اهمیت فزاینده‌ای پیدا می‌کند، زیرا ابزارهای EUV تمایل دارند ماسک‌ها را در طول زمان آسیب برسانند (با وجود استفاده از پوشش‌های محافظ)، بنابراین توانایی ساخت ماسک‌های جدید در مدت زمان کوتاه بسیار حیاتی است.

علاوه بر این، اینتل تنها تولیدکننده نیمه‌رسانا است که ابزارهای خود را برای ساخت ماسک‌های نوری در شرکت تابعه IMS Nanofabrication خود تولید می‌کند. از لحاظ تاریخی، رتیکل‌ها با استفاده از یک ابزار تک پرتو الکترونی الگوبرداری می‌شدند که کند بود. در مقابل، IMS دستگاه‌های ساخت ماسک چند پرتو (MBMWs) را تولید می‌کند که ۲۶۲,۱۴۴ پرتو الکترونی قابل برنامه‌ریزی مستقل را به طور همزمان پرتاب می‌کنند، که توان عملیاتی را به میزان قابل توجهی با دقت قرارگیری در مقیاس نانومتر افزایش می‌دهد.

دکتر فرانک عبود، معاون اینتل فاندری و مدیر کل عملیات ماسک اینتل، گفت: “سانتا کلارا برای دهه‌ها میزبان برخی از مهم‌ترین نوآوری‌های تولیدی اینتل بوده است.” “با گسترش عملیات ماسک پردیس Bowers، ما در حال تقویت یک قابلیت حیاتی هستیم که از تولید فناوری فرآیند پیشرفته در سراسر جهان پشتیبانی می‌کند و تعهد اینتل فاندری را به پیشبرد رهبری تولید نیمه‌رسانا در ایالات متحده تقویت می‌کند.”

پردیس Bowers اینتل در سانتا کلارا از سال ۱۹۸۶ به تولید ماسک اختصاص یافته است. این سایت زیرساخت اصلی تولید ماسک شرکت را تشکیل می‌دهد و همراه با تاسیسات شرکت در هیلزبورو، اورگان، پشتیبانی می‌کند. تولید ماسک‌های غیرحیاتی به طور تاریخی برون‌سپاری شده است، اگرچه ما نمی‌دانیم که آیا این شرکت هنوز این کار را انجام می‌دهد یا خیر.