تولیدکنندگان تراشه چینی بر اساس گزارشی از مرکز فناوری و دولت‌داری (CTS)، تخمیناً ۳۴۳ ابزار لیتوگرافی DUV غوطه‌وری برای ساخت تراشه را از سال ۲۰۱۲ تا اوایل ۲۰۲۶ انباشته‌اند که بسیاری از آنها می‌توانند برای ساخت تراشه‌هایی با فناوری‌های فرآیند کلاس ۷ نانومتری استفاده شوند. این گروه مستقر در واشنگتن تاکید می‌کند که این تجهیزات به کارخانه‌های چینی پتانسیل قابل توجهی برای تولید پردازنده‌های پیچیده می‌دهد، علی‌رغم ناتوانی آنها در تهیه سیستم‌های پیشرفته‌تر EUV شرکت ASML. در حالی که تعداد کل ابزارهای ArFi متعلق به تولیدکنندگان تراشه چینی معقول به نظر می‌رسد، برخی تخمین‌های دیگر سوال‌برانگیز هستند.

چین در سال‌های اخیر به طور خاص در تهیه تجهیزات ساخت ویفر تهاجمی عمل کرده است، زیرا دولت ایالات متحده مشغول اعمال محدودیت‌های مختلف بر صنعت نیمه‌هادی این کشور بوده است. از سال ۲۰۱۲، تولیدکنندگان تراشه چینی، از جمله سازندگان منطقی و حافظه، ۳۴۳ اسکنر لیتوگرافی DUV غوطه‌وری را از ASML وارد کرده‌اند، به استثنای واردات به کارخانه‌های چندملیتی واقع در چین.

نویسندگان گزارش ادعا می‌کنند که کنترل‌های صادراتی موجود یک شکاف مهم را باقی می‌گذارند، زیرا تجهیزات لیتوگرافی که در ابتدا برای فناوری‌های فرآیند کمتر پیشرفته خریداری شده‌اند، می‌توانند به طور بالقوه برای فناوری‌های فرآیند پیچیده‌تر، مانند گره‌های کلاس ۷ نانومتری (که صنعت در سال‌های ۲۰۱۸-۲۰۱۹ پذیرفت) اختصاص یابند. این امر با هزینه‌ای همراه است، اما اگر گزینه‌های دیگری در دسترس نباشد، تولیدکنندگان تراشه چینی چاره‌ای ندارند. آنها پیشنهاد می‌کنند صادرات تمام سیستم‌های DUV غوطه‌وری به چین ممنوع شود و قطعات جایگزین و خدمات نگهداری برای ماشین‌های نصب شده در کارخانه‌های پیشرفته محدود شود، پیشنهادی که با قانون دوحزبی MATCH که در آوریل معرفی شد، سازگار است.

CTS ادعا می‌کند که ۲۷۰ مورد از این ابزارهای DUV غوطه‌وری، اسکنرهای Twinscan NXT:1980i شرکت ASML هستند که دارای وضوح ۳۸ نانومتر و قابلیت همپوشانی ماشین منطبق ۲.۵ نانومتر هستند که برای چندالگوسازی گره‌های کلاس ۷ نانومتری حیاتی است و می‌توانند برای ساخت تراشه‌هایی با فناوری‌های ساخت کلاس ۷ نانومتری استفاده شوند. علاوه بر این، CTS ادعا می‌کند که کارخانه‌های چینی ۲۲ سیستم NXT:2050i و شش سیستم NXT:2000i را در اختیار دارند. مشخص نیست که چند مورد از ۲۹۶ اسکنر پیشرفته DUV غوطه‌وری ارسال شده به چین در حال حاضر عملیاتی هستند.

مقامات هلندی در سپتامبر ۲۰۲۳ الزامات صدور مجوز برای صادرات اسکنرهای NXT:2000i و اسکنرهای DUV غوطه‌وری با قابلیت بیشتر ASML را معرفی کردند که عملاً از ارسال آنها به چین جلوگیری می‌کند. در نتیجه، تولیدکنندگان تراشه چینی مجبور شدند به NXT:1980i با قابلیت کمتر روی آورند. CTS اکنون تخمین می‌زند که کارخانه‌های چینی تقریباً ۹۰ اسکنر NXT:1980i را در سال ۲۰۲۴ و ۸۹ واحد دیگر را در سال ۲۰۲۵ خریداری کرده‌اند و بیش از ۱۳ میلیارد دلار در این دوره دو ساله هزینه کرده‌اند. در حالی که هلند کنترل‌های صادراتی را در سپتامبر ۲۰۲۴ به NXT:1980i گسترش داد، صادرات فردی این مدل همچنان می‌تواند تاییدیه دریافت کند. علاوه بر این، ASML همچنین می‌تواند سیستم‌های NXT:1965Ci خود را به مشتریان در چین بفروشد، اگرچه ما مطمئن نیستیم که تمام قطعات مورد نیاز برای این اسکنرهای قدیمی را در اختیار دارد.

نتایج خود ASML نشان‌دهنده تقاضای غیرمعمول بالا از چین است: این کشور در سال ۲۰۲۴ ۴۱ درصد و در سال ۲۰۲۵ ۳۳ درصد از فروش خالص سیستم‌های آن را بر اساس مقصد حمل و نقل تشکیل داده است. این سهم متعاقباً در سه‌ماهه اول ۲۰۲۶ به ۱۹ درصد و در سه‌ماهه دوم به ۱۴ درصد کاهش یافت، که چیزی است که ASML قبلاً در مورد آن هشدار داده بود.

باید در نظر داشت که اعداد CTS — حدود ۹۰ سیستم NXT:1980i در سال ۲۰۲۴ و ۸۹ سیستم در سال ۲۰۲۵ — را نمی‌توان به طور مستقل از داده‌های مالی منتشر شده ASML بازسازی کرد. در بهترین حالت، افشای اطلاعات ASML یک بررسی منطقی مفید ارائه می‌دهد: چین در واقع در همان سال‌ها یک مقصد فوق‌العاده بزرگ بود، در حالی که ASML در سال‌های ۲۰۲۴ و ۲۰۲۵ به ترتیب ۱۲۹ و ۱۳۱ سیستم ArFi را در سطح جهانی فروخت. اگر اعداد CTS صحیح باشند، تولیدکنندگان تراشه چینی سهم عمده، ۷۰ درصد و ۶۸ درصد، از خروجی ابزارهای DUV غوطه‌وری ASML را در سال‌های ۲۰۲۴ و ۲۰۲۵ با وجود کنترل‌های صادراتی معرفی شده در سال ۲۰۲۴ خریداری کرده‌اند. در همین حال، سیستم‌های NXT:1980Di به راحتی در بازار دست دوم موجود هستند.

*منبع به ماشین‌های NXT:1980i اشاره می‌کند که احتمالاً شامل مدل اصلی 1980Di و مدل جدیدتر 1980Fi با بهره‌وری بالاتر است. ما در این داستان برای حفظ یکپارچگی از نام ‘NXT:1980i’ استفاده خواهیم کرد، حتی اگر ASML هرگز اسکنری به نام NXT:1980i تولید نکرده باشد.