شرکت Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology تایید کرده است که در حال افزودن حدود ۲۵,۰۰۰ متر مربع فضای تولید و فضاهای مرتبط با تولید در اوبرکوخن، واقع در جنوب آلمان است. کارکنان این ماه به اولین ساختمان تکمیل شده منتقل می‌شوند، چهار سال پس از آغاز عملیات ساخت در سال ۲۰۲۲. ساختمان‌های باقیمانده به صورت مرحله‌ای تحویل داده خواهند شد. اوبرکوخن و وتزلار تنها دو مکان در جهان هستند که ستون‌های نوری داخل اسکنرهای لیتوگرافی ASML می‌توانند در آنجا ساخته شوند، و گزارش سالانه ASML بیان می‌کند که تعداد سیستم‌هایی که می‌تواند تولید کند، توسط ظرفیت تولید Zeiss SMT محدود می‌شود. ASML اوایل این ماه به سرمایه‌گذاران گفت که قصد دارد تولید EUV با NA پایین را تا سال ۲۰۲۷ حدود ۳۰ درصد افزایش دهد.

گزارش سالانه ۲۰۲۵ ASML، شرکت Carl Zeiss SMT را به عنوان تنها تامین‌کننده لنزها، آینه‌ها، روشن‌کننده‌ها، جمع‌کننده‌ها و سایر قطعات نوری حیاتی خود توصیف می‌کند که تحت یک توافق انحصاری نگهداری می‌شود. این گزارش هشدار می‌دهد که اگر زایس نتواند تولید را برای مدت طولانی حفظ کند، ASML «عملاً قادر به ادامه فعالیت تجاری خود نخواهد بود.» خریدهای ASML از Zeiss SMT و شرکت‌های تابعه آن در سال ۲۰۲۵ به ۴.۴۱ میلیارد یورو رسید که از ۳.۹۵ میلیارد یورو در سال ۲۰۲۴ و ۳.۳۳ میلیارد یورو در سال ۲۰۲۳ افزایش یافته است. (۱ یورو = ۱.۱۴ دلار آمریکا)

راجر داسن، مدیر مالی ASML، در تماس مالی ماه جولای این شرکت گفت که ظرفیت تولید EUV با NA پایین برای سال ۲۰۲۷ تقریباً به طور کامل رزرو شده است، و ظرفیت را حدود ۳۰ درصد از تقریباً ۶۵ سیستم در سال جاری افزایش می‌دهد و در حال ارزیابی افزایش ۳۰ درصدی دیگر برای سال ۲۰۲۸ است. او در همان روز به خبرنگاران گفت که این شرکت چرخه ساخت اسکنر خود را از حدود ۲۲ هفته به ۱۵ یا ۱۶ هفته کاهش می‌دهد. گفته می‌شود که ASML در حال برنامه‌ریزی برای افزایش قیمت دستگاه‌های EUV با NA پایین است، چیزی که طبق گزارش‌ها TSMC را ناراحت کرده است.

اپتیک‌های پروجکشن High-NA شامل بیش از ۴۰,۰۰۰ قطعه هستند و حدود ۱۲ تن وزن دارند که تقریباً هفت برابر حجم و وزن اپتیک‌های استاندارد EUV است. سیستم روشنایی نیز ۲۵,۰۰۰ قطعه و ۶ تن دیگر به آن اضافه می‌کند. آینه‌های High-NA به تنهایی چندین صد کیلوگرم وزن دارند، حدود دو برابر اندازه و ۱۰ برابر وزن آینه‌های فعلی EUV، و زایس می‌گوید که آنها ماه‌ها قبل از رسیدن به شکل مورد نیاز ماشین‌کاری می‌شوند. تأیید آنها به یک محفظه خلاء مخصوص به ابعاد ۵ در ۱۰ متر نیاز دارد که از بیش از ۱۰۰,۰۰۰ قطعه تشکیل شده و بیش از ۱۵۰ تن وزن دارد. اینتل این ماه اولین شرکتی شد که منطق با حجم بالا را بر روی اسکنرهای ۰.۵۵ NA عرضه کرد. افزودن فضای کف، هیچ یک از این مراحل را کوتاه نمی‌کند.

ASML در پایان سال ۲۰۲۵، ۱.۹۱ میلیارد یورو وام قابل دریافت از Zeiss SMT داشت که از ۱.۴۴ میلیارد یورو یک سال قبل افزایش یافته بود، به علاوه ۱.۱۹ میلیارد یورو پیش‌پرداخت برای تضمین تحویل ستون‌های نوری. دو تسهیلات ۱ میلیارد یورویی در سپتامبر ۲۰۲۱ و سپتامبر ۲۰۲۴ امضا شده‌اند، و ASML وام ۴۴۴ میلیون یورویی دیگری در جولای ۲۰۲۵ و یک وام کوتاه‌مدت ۲۱۲.۵ میلیون یورویی در نوامبر صادر کرد. بازنگری توافق‌نامه چارچوب شرکت در می ۲۰۲۵، وام‌های سرمایه‌ای را بدون بهره کرد، با بازپرداخت مورد انتظار طی هفت یا ۱۵ سال و اقساط فصلی که با درآمد Zeiss SMT متغیر است.

Zeiss SMT در سال مالی منتهی به ۳۰ سپتامبر ۲۰۲۵، ۵.۰۵۵ میلیارد یورو درآمد ثبت کرد که ۲۳ درصد افزایش یافته و بزرگترین بخش از چهار بخش گروه زایس است. این شرکت همچنین در حال ساخت یک کارخانه چند منظوره در وتزلار است، پاییز گذشته ۳۰۰ متر مربع اتاق تمیز در روسدورف اضافه کرد و این ماه یک مرکز نوآوری در کره افتتاح کرد.